0

Étalon d’étalonnage de grossissement traçable EM-Tec MCS-1TR-XY, 2,5 mm à 1 µm dans les directions X et Y

1,00 €

L’étalon d’étalonnage EM-Tec MCS-1-XY a été développé pour calibrer avec précision les SEM de table, les microscopes à lumière réfléchie, les SEM compacts et la plage de grossissement faible à moyen des SEM standards. Convient aux grossissements de 10x à 20 000x. Caractéristiques déposées de chrome brillant sur du silicium conducteur ultra-plat. Les tailles des caractéristiques du MCS-1-XY sont :_x000D_
2,5 mm, 1,0 mm, 0,5 mm, 250 µm, 100 µm, 10 µm, 5 µm, 2,5 µm et 1 µm dans les directions X et Y._x000D_
Le 31-T31000 EM-Tec MCS-1TR-XY est traçable au niveau de la tranche par rapport à un étalon d’étalonnage mesuré par le NIST. Proposé démonté ou monté sur les stubs SEM les plus populaires.

SKU: 31-T31020 Categories: , , , ,

Description

Étalons d’étalonnage de grossissement SEM série EM-Tec MCS XY_x000D_ Étalon d’étalonnage bidirectionnel XY SEM avec motifs de 2,5 mm à 1 µm ou 100 nm

_x000D_ Introduction_x000D_ _x000D_ Les étalons d’étalonnage de la série EM-Tec MCS XY partagent la même plage d’étalonnage et la même technologie de fabrication MEMS que les étalons d’étalonnage de grossissement de la série EM-TecÉtalon d'étalonnage certifié 31-C32000 EM-Tec MCS-0.1CF, 2,5 mm à 100 nm MCS. Ces étalons d’étalonnage bidirectionnels complets offrent un modèle d’étalonnage adjacent dans les directions X et Y. Ils sont idéaux pour l’étalonnage du grossissement ou les mesures de dimensions critiques dans les systèmes de table SEM, SEM standard, FESEM, FIB, Auger, SIMS et de microscope à lumière réfléchie._x000D_ Deux types de plages d’étalonnage pour les étalons d’étalonnage Em-Tec MCS XY sont proposés, les deux plages d’étalonnage avec certificat de traçabilité ou avec un certificat d’étalonnage individuel :_x000D_
    _x000D_
  • EM-Tec MCS-1-XY avec des échelles XY allant de 2,5 mm à 1 µm ; idéal pour les SEM de table et compacts, couvre la plage de grossissement de 10x à 20 000x._x000D_ Nous proposons une  version traçable  et une   version certifiée
    • _x000D_
  • EM-Tec MCS-0.1-XY avec des échelles XY allant de 2,5 mm à 100 nm ; idéal pour les systèmes SEM, FESEM et FIB, couvre des grossissements de 10x à 200 000._x000D_ Nous proposons une  version traçable  et une   version certifiée
    • _x000D_
_x000D_ Les caractéristiques de la série EM-Tec MCS XY sont réalisées à l’aide de techniques de fabrication MEMS de pointe avec des lignes déposées de chrome à contraste élevé pour les caractéristiques plus grandes et de l’or sur chrome pour les caractéristiques plus petites inférieures à 2,5 µm. Les caractéristiques déposées en or garantissent un rapport signal/bruit optimal à des fins d’étalonnage. Les avantages de la série EM-Tec MCS XY sont :_x000D_
    _x000D_
  • précision sans précédent sur toute la plage d’étalonnage dans les directions X et Y
    • _x000D_
  • toutes les fonctionnalités XY dans un seul plan ultra-plat
    • _x000D_
  • métal sur silicium avec un excellent rapport signal/bruit
    • _x000D_
  • gamme plus large de fonctionnalités pour calibrer avec précision les plages de grossissement faible, moyen et élevé
    • _x000D_
  • compatible avec l’imagerie SE et BSE
    • _x000D_
  • matériaux entièrement conducteurs
    • _x000D_
  • conversion facile des tailles de caractéristiques métriques XY
    • _x000D_
  • peut être nettoyé avec un nettoyage au plasma
    • _x000D_
  • tous traçables NIST ou éventuellement certifiés
    • _x000D_
_x000D_ L’étalon d’étalonnage EM-Tec MCS-0.1 est un excellent remplacement de l’étalon d’étalonnage SIRA abandonné (qui utilisait uniquement les caractéristiques de 0,51 et 0,463 µm) avec des avantages supplémentaires. Les tailles de fonctionnalités compatibles pour la norme SIRA sont 50 µm (5×10 µm) et 0,5 µm (500 nm)._x000D_ _x000D_ Spécifications des étalons d’étalonnage de la série EM-Tec MCS_x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_
SubstratPlaquette ultra-plate dopée au bore de 525 µm d’épaisseur avec une orientation <100>
ConducteurExcellent; Résistivité de 5 à 10 ohms
Taille du motif2,5 x 2,5 mm
Taille de la puce4 x 4 mm (non monté)
Caractéristiques MCS-1-XY2,5, 1,0 et 0,5 mm dans les directions X et Y_x000D_ 250, 100, 10, 5, 2,5 et 1 µm tous deux adjacents dans les directions X et Y
Caractéristiques MCS-0.1-XYavec 500, 250 et 100 nm supplémentaires, tous deux adjacents dans les directions X et Y
Matériel de caractéristiquesChrome 50 nm pour les tailles de caractéristiques de 2,5 mm à 2,5 µm_x000D_ Or 50 nm sur chrome 20 nm pour les tailles de 1 µm à 100 nm
Uniformité traçable0,2 % ou mieux
Uniformité certifiée0,03%
Incertitude traçable0,7 % ou mieux
Incertitude certifiée0,09%
TraçabilitéTraçabilité NIST au niveau des plaquettes ; données moyennes mesurées sur chaque plaquette de production
AgrééFacultatif; chaque étalon certifié EM-Tec MCS est_x000D_ calibré individuellement par rapport à un étalon mesuré par le NIST
ApplicationSEM, FESEM, FIB, Auger, SIMS et microscopie en lumière réfléchie
IdentificationID du produit avec numéro de série gravé
MontageMontage disponible sur les stubs SEM populaires
FourniNon monté : fourni dans une boîte Gel-Pak
_x000D_  _x000D_ _x000D_ Bulletin d’assistance technique : TSB 31-T31020 EM-Tec MCS X-Y Magnification Calibration Standards

Additional information

Nombre d'unité

Unité