Échantillon de test KPFM et EFM avec réseaux de lignes Al et Au, monté sur disque AFM métallique de 15 mm

Description

Introduction_x000D_ _x000D_ L’échantillon de test KPFM & EFM a été spécialement conçu pour tester les performances de la microscopie à force à sonde Kelvin et de la microscopie à force électrostatique. Cet échantillon de test pratique est constitué de réseaux avec des lignes alternées d’aluminium et d’or déposées sur un substrat de silicium recouvert d’oxyde de silicium. Il existe 4 emplacements de line array : 4, 8, 20 et 40 um avec des espaces de 0,5 à 0,8 um entre les lignes. La hauteur de la ligne est d’env. 35 milles marins._x000D_ _x000D_  _x000D_

Caractéristiques de l’échantillon de test KPFM & EFM :

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• Réseaux avec des lignes Al et Au alternées
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• Emplacements de réseau de lignes de 4, 8, 20 et 40 um avec un écart de 0,5 à 08 um.
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• La hauteur de la ligne est d’env. 35 nm
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• La pile est constituée d’une puce de silicium sur un disque en verre de Ø12 mm sur un disque métallique de Ø15 mm d’une hauteur totale de 1,5 mm
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• Fils de cuivre fins connectés aux plots Al et Au
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Spécifications de l’échantillon de test KPFM & EFM

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Numéro de produit	_x000D_ 34-033040 _x000D_
Hauteur de la ligne	_x000D_ 35 nm _x000D_
Largeur de l’espace	_x000D_ 0,5 – 0,8 um _x000D_
Largeur de ligne	Groupe	Pas	Aluminium	Or
	Grand	40 un	10 ± 0,5 um	29 ± 0,5 um
	Moyen	20 un	5 ± 0,5 um	14 ± 0,5 um
	Petit	10 un	2 ± 0,5 um	6 ± 0,5 um
	Super petit	4 un	1 ± 0,5 um	2 ± 0,5 um

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