Étalon d’étalonnage de grossissement certifié EM-Tec MCS-1CF-XY, 2,5 mm à 1 µm dans les directions X et Y

Description

Étalons d’étalonnage de grossissement SEM série EM-Tec MCS XY_x000D_ Étalon d’étalonnage bidirectionnel XY SEM avec motifs de 2,5 mm à 1 µm ou 100 nm

_x000D_ Introduction_x000D_ _x000D_ Les étalons d’étalonnage de la série EM-Tec MCS XY partagent la même plage d’étalonnage et la même technologie de fabrication MEMS que les étalons d’étalonnage de grossissement de la série EM-Tec MCS. Ces étalons d’étalonnage bidirectionnels complets offrent un modèle d’étalonnage adjacent dans les directions X et Y. Ils sont idéaux pour l’étalonnage du grossissement ou les mesures de dimensions critiques dans les systèmes de table SEM, SEM standard, FESEM, FIB, Auger, SIMS et de microscope à lumière réfléchie._x000D_ Deux types de plages d’étalonnage pour les étalons d’étalonnage Em-Tec MCS XY sont proposés, les deux plages d’étalonnage avec certificat de traçabilité ou avec un certificat d’étalonnage individuel :_x000D_

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• EM-Tec MCS-1-XY avec des échelles XY allant de 2,5 mm à 1 µm ; idéal pour les SEM de table et compacts, couvre la plage de grossissement de 10x à 20 000x._x000D_ Nous proposons une  version traçable  et une   version certifiée
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• EM-Tec MCS-0.1-XY avec des échelles XY allant de 2,5 mm à 100 nm ; idéal pour les systèmes SEM, FESEM et FIB, couvre des grossissements de 10x à 200 000._x000D_ Nous proposons une  version traçable  et une   version certifiée
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_x000D_ Les caractéristiques de la série EM-Tec MCS XY sont réalisées à l’aide de techniques de fabrication MEMS de pointe avec des lignes déposées de chrome à contraste élevé pour les caractéristiques plus grandes et de l’or sur chrome pour les caractéristiques plus petites inférieures à 2,5 µm. Les caractéristiques déposées en or garantissent un rapport signal/bruit optimal à des fins d’étalonnage. Les avantages de la série EM-Tec MCS XY sont :_x000D_

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• précision sans précédent sur toute la plage d’étalonnage dans les directions X et Y
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• toutes les fonctionnalités XY dans un seul plan ultra-plat
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• métal sur silicium avec un excellent rapport signal/bruit
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• gamme plus large de fonctionnalités pour calibrer avec précision les plages de grossissement faible, moyen et élevé
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• compatible avec l’imagerie SE et BSE
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• matériaux entièrement conducteurs
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• conversion facile des tailles de caractéristiques métriques XY
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• peut être nettoyé avec un nettoyage au plasma
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• tous traçables NIST ou éventuellement certifiés
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_x000D_ L’étalon d’étalonnage EM-Tec MCS-0.1 est un excellent remplacement de l’étalon d’étalonnage SIRA abandonné (qui utilisait uniquement les caractéristiques de 0,51 et 0,463 µm) avec des avantages supplémentaires. Les tailles de fonctionnalités compatibles pour la norme SIRA sont 50 µm (5×10 µm) et 0,5 µm (500 nm)._x000D_ _x000D_ Spécifications des étalons d’étalonnage de la série EM-Tec MCS_x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_ _x000D_

Substrat	Plaquette ultra-plate dopée au bore de 525 µm d’épaisseur avec une orientation <100>
Conducteur	Excellent; Résistivité de 5 à 10 ohms
Taille du motif	2,5 x 2,5 mm
Taille de la puce	4 x 4 mm (non monté)
Caractéristiques MCS-1-XY	2,5, 1,0 et 0,5 mm dans les directions X et Y_x000D_ 250, 100, 10, 5, 2,5 et 1 µm tous deux adjacents dans les directions X et Y
Caractéristiques MCS-0.1-XY	avec 500, 250 et 100 nm supplémentaires, tous deux adjacents dans les directions X et Y
Matériel de caractéristiques	Chrome 50 nm pour les tailles de caractéristiques de 2,5 mm à 2,5 µm_x000D_ Or 50 nm sur chrome 20 nm pour les tailles de 1 µm à 100 nm
Uniformité traçable	0,2 % ou mieux
Uniformité certifiée	0,03%
Incertitude traçable	0,7 % ou mieux
Incertitude certifiée	0,09%
Traçabilité	Traçabilité NIST au niveau des plaquettes ; données moyennes mesurées sur chaque plaquette de production
Agréé	Facultatif; chaque étalon certifié EM-Tec MCS est_x000D_ calibré individuellement par rapport à un étalon mesuré par le NIST
Application	SEM, FESEM, FIB, Auger, SIMS et microscopie en lumière réfléchie
Identification	ID du produit avec numéro de série gravé
Montage	Montage disponible sur les stubs SEM populaires
Fourni	Non monté : fourni dans une boîte Gel-Pak

_x000D_  _x000D_ _x000D_ Bulletin d’assistance technique : TSB 31-T31020 EM-Tec MCS X-Y Magnification Calibration Standards